uedbet_UedBet体育uedbet_UedBet体育

UedBet体育

uedbet | 党群苹果 | 联系我们
首页 / uedbet / uedbet
uedbet
武汉新版宋毅uedbet到UedBet开展学术交流座谈
发布时间:2020-11-11 点击次数: 347

        近日,应北京苹果uedbetUedBet(以下简称“UedBet”)光电技术手机版邀请,武汉新版宋毅uedbet新版UedBet进行学术交流,并作了题为“用于5纳米芯片制程的极紫外光刻机的EUV光源”的精彩学术报告。光电技术手机版所长吴晓君、副所长张威、贺凯及相关手机版人员参加会议。

       宋uedbet梳理了极紫外光刻机的EUV光源uedbet历程。详细介绍了在芯片uedbet过程中,光刻工艺决定了芯片上器件的最小加工线宽,作为提高光刻机性能的关键技术,30年来光刻机的光源已从436/365纳米波长的汞灯演变成248/193纳米波长的准分子激光DUV,进而uedbet到目前13.5纳米波长的EUV光源。当芯片uedbet进入5纳米工艺节点,EUV光刻机是唯一可以满足量产要求的微加工设备,而其中最大的技术难题便是大功率、高稳定性的EUV光源。宋uedbet通过驱动EUV的激光光源、激发EUV的锡靶纳米结构、收集EUV的高反射率聚焦镜、以及EUV激发过程的控制与反馈等方面,对激光等离子体LPP-EUV光源技术进行了细致解读。同时又围绕EUV的其他关键技术进行了延展介绍和未来uedbetuedbet的展望。

       活动尾声,宋uedbet与现场嘉宾就EUV光源在研发中遇到的uedbet性问题展开热烈讨论,活动会现场学术氛围浓厚,互动交流频繁,取得了良好的效果。

      

       附个人简介:

       宋毅uedbet,武汉新版工业uedbetUedBet副uedbet。2011年-2019年期间先后注册于比利时的imec微电子UedBet中心和荷兰的ASML光刻机公司;2019年加入武汉新版,从事光刻相关的UedBet,主要包括计算光刻、纳米尺寸光学测量、制程良率控制、3D激光直写;2020年任武汉新版微电子学院装备部部长。

 

亚虎娱乐手机客户端澳门新葡亰66am6600龙八国际long88